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產(chǎn)品詳情
  • 半導(dǎo)體手套箱

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半導(dǎo)體手套箱

發(fā)布時間 : 2024-12-21 05:32
 

控 制:水、 氧小于1ppm(純化系統(tǒng)氣體出口)。
調(diào)節(jié)裝置:通過PLC觸摸式調(diào)節(jié)(加熱、 抽空、 凈化、 再生)全過程無需人為監(jiān)控。
工作氣體:N2或Ar(氣體循環(huán))。
循環(huán)風(fēng)機:高速變頻鳳機,流量0-10Qm3/h,微處理器控制,經(jīng)過壓力測試的不銹鋼裝置。
雙凈化桂:德國BASF除氧材料,美國UOP高效吸水材料。(選配)

凈化閥:德國Burkert,全自動電氣動閥。 模塊化設(shè)計。
再生系統(tǒng):用于凈化系統(tǒng)再次利用,使其活化;再生需要N2/H2或A曠H2的混合氣體,真中H2占5-10%。顯示系統(tǒng):控制單元采用PLC觸摸屏,操作菜單:中文。
真空系統(tǒng):自動氣控電鍍板;真空泵選用英國Edwards 真空泵(與烤箱公用泵型號可選)


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