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產(chǎn)品詳情
  • 快速真空退火爐

  • 德國ATV PEO系列多功能快速熱處理系統(tǒng),主要用于晶圓的擴(kuò)散、氧化,以及CVD,PVD,LPCVD,MOCVD,合金化,退火,固化/烘烤等工藝,MAX處理溫度1100℃,可滿足研發(fā)、批量生產(chǎn)的需求。
  • 產(chǎn)品文檔:

快速真空退火爐

發(fā)布時(shí)間 : 2024-12-21 05:36

PEO系列除了有節(jié)省空間的優(yōu)點(diǎn)之外還有在待機(jī)的情況下周圍環(huán)境零能耗的特點(diǎn)。設(shè)備技術(shù)特點(diǎn)之處在于:使用方便更換的嵌套管即可實(shí)現(xiàn)同一臺(tái)設(shè)備上不同工藝的切換,且相互之間無交叉污染。為了達(dá)到具佳的溫度均勻性,ATV采用了14個(gè)Kanthal加熱元件,它們分別位于石英管的周圍,前端和后端,并且都由PID獨(dú)立控制。ATV豐富的經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)的工藝知識(shí)突出了我們為半導(dǎo)體和微電子行業(yè)提供性能具佳的設(shè)備和服務(wù)的理念。
我們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和售后團(tuán)隊(duì)致力于幫助我們的用戶從對ATV設(shè)備的投資中獲得良好的回報(bào)。


PE0-604 
設(shè)備技術(shù)參數(shù)

  • 外形尺寸: 800 x 1900 x 1400mm (長x寬x高) [>重蛋: 475 Kg 
  • 石英管直徑230mm(9")
  • 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品溫度: 1,000°C/1, 100°
  • 等溫區(qū): 50片晶圓。
  • 電源: 3Phases, 230/400V, 32/63A, 21/42 KW
  • 一般應(yīng)用
  • CVD, PVD, LPCVD, MOCVD [> Si3凡Poly Si 
  •  Si Ep i taxy 
  • TEOS,LTO 
  • 碳納米管, 硅納米線, 石墨烯 
  • 氣體/固體源擴(kuò)散
  • 濕法/干法氧化
  • VCSEL氧化工藝
  • Trans LC 
  • SiAI/SiAu/SiMo合金化處理
  • 退火:惰性氣體
  • 聚酰亞胺, 固化/烘烤 
  • LTCC燒結(jié), 厚膜燒結(jié)


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